GB/T 15862-1995离子注入机通用技术条件
【 标准编号 】 GB/T 15862-1995<BR>【 标准名称 】 离子注入机通用技术条件 <BR>【 英文名称 】 Generic specification for ion implantation equipment<BR>【 发布单位 】 国家技术监督局<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1995-12-22<BR>【 实施日期 】 1996-8-1<BR>【 开本页数 】 9P<BR>【 引用标准 】 GB 191; GBn 193; GB 5080.7; GB 6388; SJ 142; SJ 1276; SJ 2573<BR>【 起草单位 】 电子工业部第四十八研究所<BR>【 起 草 人 】 颜亨迪; 廖温初<BR>
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