GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件
【 标准编号 】 GB/T 15861-1995<BR>【 标准名称 】 离子束蚀刻机通用技术条件 <BR>【 英文名称 】 Generic specification of ion beam etching system<BR>【 发布单位 】 国家技术监督局<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1995-12-22<BR>【 实施日期 】 1996-8-1<BR>【 开本页数 】 9P<BR>【 引用标准 】 GB 191; GB 5080.7; SJ 142; SJ 1224; SJ/T 10152<BR>【 起草单位 】 电子工业部长沙半导体工艺设备研究所<BR>【 起 草 人 】 安志超; 廖温初<BR>
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