GB/T 6621-1995硅抛光片表面平整度测试方法
【 标准编号 】 GB/T 6621-1995<BR>【 标准名称 】 硅抛光片表面平整度测试方法 <BR>【 英文名称 】 Test methods for surface flatness of silicon polished slices<BR>【 发布单位 】 SBTS<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1995-4-18<BR>【 实施日期 】 1995-12-1<BR>【 开本页数 】 9P<BR>【 替代标准 】 GB 6621-1986<BR>【 采用关系 】 ASTM F 775-1988,EQV<BR>【 起草单位 】 上海第二冶炼厂<BR>
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