GB/T 6617-1995硅片电阻率测定 扩展电阻探针法
【 标准编号 】 GB/T 6617-1995<BR>【 标准名称 】 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法 <BR>【 英文名称 】 Test method for measuring resistivity of silicon wafers using spreading resistance probe<BR>【 发布单位 】 SBTS<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1995-4-18<BR>【 实施日期 】 1995-12-1<BR>【 开本页数 】 6P<BR>【 替代标准 】 GB 6617-1986<BR>【 引用标准 】 GB 1550; GB 1555 etc.<BR>【 采用关系 】 ASTM F525-1988,EQV<BR>【 起草单位 】 上海有色金属研究所<BR>
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