GB/T 6520-1995硅片翘曲度非接触式测试方法
【 标准编号 】 GB/T 6520-1995<BR>【 标准名称 】 硅片翘曲度非接触式测试方法 <BR>【 英文名称 】 Test method for measuring warp on silicon slices by noncontact scanning<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1995-4-18<BR>【 实施日期 】 1995-12-1<BR>【 开本页数 】 5P<BR>【 替代标准 】 6620 -1986<BR><BR>
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