GB/T 4058-1995 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
【 标准编号 】 GB/T 4058-1995<BR>【 标准名称 】 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法 <BR>【 英文名称 】 Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers<BR>【 发布单位 】 国家技术监督局<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1995-4-18<BR>【 实施日期 】 1995-12-1<BR>【 开本页数 】 10P<BR>【 替代标准 】 GB 4058-83; GB 6622-86; GB 6623-86<BR>【 引用标准 】 GB/T 1554; YS/T 209<BR>【 采用关系 】 ,<BR>【 起草单位 】 峨眉半导体材料厂<BR>【 起 草 人 】 吴道荣; 王向东; 胡政; 刘文魁<BR>
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