GB/T 1554-1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
【 标准编号 】 GB/T 1554-1995<BR>【 标准名称 】 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 <BR>【 英文名称 】 Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques<BR>【 发布单位 】 国家技术监督局<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1995-4-18<BR>【 实施日期 】 1995-12-1<BR>【 开本页数 】 11P<BR>【 替代标准 】 GB 1554-79; GB 4057-83<BR>【 引用标准 】 GB/T 4058; YS/T 209<BR>【 采用关系 】 ASTM F47-1988,EQV<BR>【 起草单位 】 峨嵋半导体材料厂<BR>【 起 草 人 】 曹宗瑞; 吴道荣; 陈永桐; 刘文魁; 王鸿高<BR>
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