GB/T 14015-92硅—蓝宝石外延片
【 标准编号 】 GB/T 14015-92<BR>【 标准名称 】 硅—蓝宝石外延片 <BR>【 英文名称 】 Silicon on sapphire epitaxial wafers<BR>【 发布单位 】 国家技术监督局<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1992-12-28<BR>【 实施日期 】 1993-8-1<BR>【 开本页数 】 8P<BR>【 引用标准 】 GB 6624; GB 2828; GB/T 13843; SJ 2446<BR>【 采用关系 】 SEMI M3-1983,REF<BR>【 起草单位 】 天津半导体技术研究所<BR>【 起 草 人 】 陈顗; 孙家龙; 牛志强; 步云英<BR>
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