GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定和探针电容--电压法
【 标准编号 】 GB/T 14146-1993<BR>【 标准名称 】 硅外延层载流子浓度测定和探针电容--电压法 <BR>【 英文名称 】 Silicon epitaxial layers-Determination of carrier concentration-Mercury probe valtage-capacitance method<BR>【 发布单位 】 SBTS<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1993-2-6<BR>【 实施日期 】 1993-10-1<BR>【 所属标准 】 GB<BR>【 开本页数 】 4P<BR>【 采用关系 】 DIN 50439-1982,REF<BR><BR>
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