GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检验方法腐蚀法
【 标准编号 】 GB/T 14142-93<BR>【 标准名称 】 硅外延层晶体完整性检验方法腐蚀法 <BR>【 英文名称 】 Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon by etching techniques<BR>【 发布单位 】 国家技术监督局<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1993-2-6<BR>【 实施日期 】 1993-10-1<BR>【 所属标准 】 GB<BR>【 开本页数 】 6P<BR>【 采用关系 】 ASTM F80-1985,REF<BR>【 起草单位 】 峨嵋半导体材料研究所<BR>【 起 草 人 】 赵庆贵; 吴毅<BR>
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