GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法
【 标准编号 】 GB/T 14140.1-1993<BR>【 标准名称 】 硅片直径测量方法 光学投影法 <BR>【 英文名称 】 Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Optical projecting method<BR>【 发布单位 】 SBTS<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1993-2-6<BR>【 实施日期 】 1993-10-1<BR>【 所属标准 】 GB<BR>【 开本页数 】 4P<BR>【 引用标准 】 GB 12962; GB 2828<BR>【 采用关系 】 ASTM F613-1982,EQV<BR>
页:
[1]