可选择型低值电容标准的研究

作　　者：张艳丽[1] ;迟洁茹[1] ;黄璐[2] ;LEE RAEDUK[2] ;齐福强[1]
机构地区：[1]青岛大学自动化学院,山东青岛266071; [2]中国计量科学研究院,北京100029
摘　　要：在电磁计量和仪器仪表行业中,通常需要高稳定电容标准器装置对仪器设备进行量值检定校准以确保它们测量的准确性。可选择型低值电容就是一种可在同一系统中输出不同稳定微小电容值的标准器。针对该类电容器最大不确定度来源之一,即屏蔽栅通孔的边缘效应,文中采用3-D电场仿真对其进行了深入研究分析,同时依据仿真结果完成了一种可选择型低值电容标准器的整体结构设计,为其实际加工制作奠定了坚实的理论基础。