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[几何量仪器] AOI校准和MSA分析

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认真学习的小白 发表于 2024-12-24 09:15:26 | 显示全部楼层 |阅读模式
想请教各位大佬两个问题:
1、AOI怎么做校准呢?
2、AOI做计数型MSA,设备用于检测晶圆,能否在一个晶圆上选择50个芯粒,好坏参半,用机台检测3次,然后用MINITAB分析呢?
谢谢大家!
风风量 发表于 2024-12-24 11:10:18 | 显示全部楼层
首先 你不懂校准 AOI是啥你都不说 让人教你啥
其次 压根不清楚MSA里的计数型判定要求
只能说提问题都不会提
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aintme 发表于 2024-12-24 12:48:07 | 显示全部楼层
MSA不是校准
kappa分析应该是可以的
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777XXX 发表于 2024-12-24 12:54:09 | 显示全部楼层
校准可以问问厂家
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511043055 发表于 2024-12-24 13:57:59 | 显示全部楼层
我们一起AOI是做标准件对标的
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紫川小乐 发表于 2025-1-15 15:23:44 | 显示全部楼层
AOI需要校准吗?采用什么国标来做呀
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zhou18yu 发表于 2025-1-21 10:49:53 | 显示全部楼层
3D AOI 需用原配校准块校准高度示值偏差           一般定义规格±2UM
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PTL815 发表于 2025-1-21 11:55:39 | 显示全部楼层

谢谢分享!
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