JJF(电子)0060-2021半导体工艺用安时计现场校准规范

主题：JJF(电子)0060-2021半导体工艺用安时计现场校准规范
内容：
【 标准编号 】JJF(电子)0060-2021
【 标准名称 】半导体工艺用安时计现场校准规范
【 英文名称 】Field Calibration Specifications for Ampere - hourMeters of Semiconductor Process
【 发布单位 】中华人民共和国工业和信息化部
【 归口单位 】中国电子技术标准化研究院
【 发布日期 】 2021-12-02
【 实施日期 】 2022-04-01
【 开本页数 】
【 替代标准 】首次发布
【 起草单位 】中国电子科技集团公司第十三研究所
【 起 草 人 】本规范主要起草人:
乔玉娥(中国电子科技集团公司第十三研究所，
吴爱华(中国电子科技集团公司第十三研究所)荆晓冬(中国电子科技集团公司第十三研究所)
参加起草人:
翟玉卫(中国电子科技集团公司第十三研究所)任宇龙(中国电子科技集团公司第十三研究所，张立飞(中国电子科技集团公司第一三研究所)