一维纳米栅格（100、200 nm）国家计量比对中传递标准测量方法研究

王芳1施玉书1,2皮磊1张树1
1.中国计量科学研究院2.深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
摘要：基于中国计量科学研究院的毫米级纳米几何结构样板标准装置，以及一维纳米栅格国家计量比对的100 nm与200 nm传递标准，开展了一维栅格测量方法研究，着重研究了栅格轮廓提取方法和基于重心法的栅格周期评价方法，经不确定度评定传递标准的不确定度小于1 nm。规范了栅格测量方法，有效地减少了测量过程中引入的人为误差，提升国内纳米栅格计量能力以及测量量值与测量结果的准确一致程度。