平板平面度检测,被测参数是“平面度误差”。众所周知平面度误差的基本计量单位是m,常用的是其分数单位μm,使用的水平仪属于(小)角度测量仪,其分度值计量单位是mrad、mm/m或角度秒(″)。显然,使用角度测量设备测量长度量值是不适宜的。
为了将角度量值与长度量值拉上关系,必须将测量角度的水平仪变成测量长度的测量设备。将辅助设备“桥板”与测量仪器“水平仪”两种测量设备组合,形成新的测量设备(又称测量系统)统一体,就是最佳方案了。在组合后的测量系统中,桥板起到了测量系统“传感部件”的作用与被测表面相接触,获取前后两相邻受检点的高度差信号,水平仪的读数机构则变成了测量系统的读数部件,其分度值也由角度值变成了长度值。若桥板跨距L=100mm,水平仪分度值T=0.01mm/m,则测量系统的分度值为:
d=L·T=100mm×0.01mm/m=100mm×0.01mm÷1000mm=0.001mm=1μm。
测量者在水平仪的读数机构读得几格就是多少μm,不再读得角度值,这样就可以方便地从原水平仪读数窗中直接读取以μm为单位的相邻两受检点的高度差,从而实现了平面度误差计量单位不能为角度值而必须为μm的要求。 |