国家纳米计量标准体系的初步建立

高思田,宋小平,李琪,施玉书,李伟,任玲玲,李适,王鹤群
中国计量科学研究院, 北京 100029
摘要 中国计量科学研究院经过多年研究,初步建立了国家纳米计量溯源体系,包括有:纳米几何结构计量标准装置、毫米级纳米几何结构计量标准装置、扫描探针显微镜校准装置、扫描电子显微镜校准装置和纳米薄膜厚度校准装置。实现了对微纳台阶高度、线间隔、线宽、膜厚的校准定值,还可满足扫描探针显微镜、扫描电子显微镜等微纳测量仪器的校准,有力地支撑了国家半导体及NMES/MEMS制造的发展。