VMA3020影像测量仪的Z轴怎么计量

公司有一台影像测量仪VMA3020，它的Z轴怎么进行计量。

VMA3020影像仪如果配置Z轴探针，就可以像三坐标一样用量块进行校准，校准规范也说的很清楚。

如果是验证光学部分的z轴可以将量块研在平晶上测量，如果是带接触式探针可以参照坐标机校准规范使用量块、步距规等

X轴和Y轴怎么校准，是用玻璃线纹尺，用客户测尺寸的方法测量尺寸吗？

中秋之缘 发表于 2018-11-1 11:12
X轴和Y轴怎么校准，是用玻璃线纹尺，用客户测尺寸的方法测量尺寸吗？

用玻璃线纹尺，用客户测尺寸的方法

我看规程中用台阶规校准吧

一般都是用量块研合后进行测量的，一般的校准机构都没有配备台阶规，台阶规我只看到设备厂家用过。

Z轴一般用米子量块做基准，先把米子量块研合在玻璃载物台上，然后用设备自动对焦功（自动机）能对准米子量块，做位Z轴0，然后依次在米子量块底下研合量块，Z轴全程均匀至少测量5点就可以。如没有米子量块，我们找个薄的量块上面带刻字的，当做米子量块用（效果不一定好）。在Z轴上加指示表什么，那种方法，是间接法检查。