Mahr C1216M薄膜测厚仪可实现±2000μm(4000μm)量程范围内的测量,在选择测量值范围±200μm内最高测量分辨率可达0.01μm,测量力最小的0.25N,最大的1.5N五种可选。如果是塑料薄膜宜选测力小的,钢薄膜宜选测力大的。因为被测薄膜厚度有限,量程4000μm也就只有4mm,受温度变化影响微乎其微,环境温度控制并不困难,困难的是测量力引起的薄膜变形量的确定或控制。
不同的材质在同样的测力下变形并不相同,建议楼主购得仪器后,针对本单位的产品做测力试验。方法是针对本单位厚度不同的薄膜,送有非接触测量薄膜厚度的实验室做精密检测作为“标准值”,在仪器选定的测量力下对其多次重复测量,以得到在该测量力下那种厚度的薄膜检测修正值,以后检测产品就在这种测量力下检测,检测读数值加上修正值就是实际测量结果。估计你可能没有做测量力的试验,找到不同材质的不同厚度的修正值。
三丰的低测力高度仪适于测量易变形工件和高精度零件,如销规、薄壁轴承、零件和弹簧等,测量薄膜也是可以的,因此测量范围较大,量程可达50mm。但因为仍然是采用接触测量法,而测量力超低(0.01N,即1g的测量力),测头工作面与被测件接触与否,以及测得值的重复性,测量人员很难把控。厂家宣传的重复精度为 s=0.05μm,示值误差为0.15μm,似乎与楼主的要求还是有一定差距。
以上建议仅供楼主参考。 |