《电离真空计校准规范》征求意见稿

3.1 调研情况
3.1.1 生产情况
目前国内主要有成都国光电气股份有限公司，成都正华电子仪器有限公司等年产量在100台件以上。国外主要有：Inficon公司、Pfeiffer公司、Leybold公司等，在中国的年销售量在200台件以上。
3.1.2 使用情况
电离真空规一般应用在航空、电子等行业。
3.2 主要内容说明
本校准规范将代替JJF 1062-1999《电离真空计》及JJG462-2004《二等标准电离真空计》
3.2.1 测量范围
本校准规范规定的测量范围是1×10-9 Pa~100Pa，测量范围的下限的确定主要从两方面考虑：一是满足实际需要，二是满足使用要求。1×10-9 Pa的测量下限几乎涵盖所有行业的测量需求，目前各个国家的计量院及国内的各个计量技术机构，建立的校准装置的测量下限也都能够覆盖。测力那个上限定在100Pa是目前确实有部分电离真空计能够测量到这个压力，为了包含这些电离真空计，因此将测量上限定在了100Pa。
3.2.3 标准装置
在本校准规范中，测量标准装置推荐采用比较法真空标准装置及动态流导法真空标准装置。主要因为这两种校准装置的操作相对方便且能够满足计量需求。静态膨胀系统不适宜电离真空计的校准，因此没有推荐使用。
3.2.4 标准装置的不确定度要求
标准装置的不确定度建议为Ur=(20%~5%) (k=2)，主要是考虑到目前的装置基本能够达到要求，且满足电离真空计的校准条件。
3.2.5 安装
为避免校准时的安装位置与使用时安装位置不同而产生系统差，校准过程中，尽量按照客户要求进行。如无特殊要求，建议在证书中给出具体安装位置。

学习下这方面的知识

JJF 1062-2022《电离真空计校准规范》