求助！SEM标片结果超过最大允许误差

各位大佬好：
           我司送了一个SEM标片，分别对100nm、1000nm的标称值做了检测报告，结果得出100nm-100.1nm U95=4nm，1000nm-1013nm U95=11nm
我按照《扫描电子显微镜校准规范》1um的最大允许误差±1%，50nm-200nm最大允许误差±3%。按照U95≤MPEV*1/3算出2个项目都超过最大允许误差的1/3，并且1000nm的误差值也超过最大允许误差范围。
          想问下各位大佬，这个标片我应该怎么处理掉呢？是按照实测值正常用还是退货，因为是海外发货的，如果重新发又要耗费很长时间。