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[线纹] 大范围纳米测量机

八一八 发表于 2024-8-22 14:14:00 | 显示全部楼层 |阅读模式

实验室认可领域分类
仪器图片:
仪器名称:	大范围纳米测量机
英文名称:	Millimeter measurement range metrological nano geometric structure standard device
型号规格:
测量范围:	10mm
等级:
分辨率:
技术指标:	2nm~20nm
生产厂家:	-
描述:	1) 位移台采用了“气浮-滑动混合位移台”的设计，保证了三维大范围运动时的平稳性，在垂直方向上无微振动，并且全行程内角摆误差减小到极小值; 2) 测头装置突破了商品化原子力显微镜测头采用的管状扫描器的局限，使用三维纳米位移台驱动，实现了正交、闭环扫描，使得测头量值可溯源; 3) 在干涉测量系统中，自研了光学 8 倍程激光干涉仪，提出了“谐波分离修正法”并已申请国家专利。最终毫米级装置具备了量值可溯源、大行程范围以及测头可实现三维正交扫描的特点。
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