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激光光束分析仪是测量激光空城参数特性的仪器,用于激光光束截面的相对功率(或能量)空域分布、光東宽度、光東传输比等参数的测量。激光光東分析仪主要有两种类型:一种用于测量激光光東宽度或光束直径,叫激光光束轮仪,简称光束轮廓仪;另一种用于测量激光光束传输比,叫激光光束质量分析仪,简称光束质量分析仪。
二者统称激光光束分析仪,简称光束分析仪。光束轮廓仪由探测器和数据采集分析软件组成。探测器分为阵列式探测器、狭缝扫描式探测器和刀口扫描式探测器等,其中阵列式探测器较为常见,如 CCD。探测器主要用于测量激光東横截面内的功率密度分布。数据采集分析软件采集、存储、分析、显示测量数据,并使用不同算法计算光束宽度。光東宽度的计算方法主要有46 法、移动刀口法或移动狭缝法等。
光東质量分析仪由阵列式探测器、狭缝扫描式探测器、刀口扫描式探测器等光束轮廓仪和导轨扫描系统构成,通过基于沿传播光束不同位置的光束宽度测量光東束腰宽度和远场发散角等信息,与基模束腰宽度与远场发散角乘积相比,测量光束传输比。 |