精密纳米计量学

作者 [日]高伟著
出版社 国防工业出版社
出版时间 2022年4月 第1版
ISBN 9787118124668
定价 98.00

【目录】
1测量表面坡度和倾斜运动的角度传感器
1.1简介；
1.2带有象限光电二极管的角度传感器；
1.3带有光电二极管阵列的角度传感器；
1.4带有单元光电二极管的角度传感器；
1.5小结；
1.6参考


2用于测量多轴倾斜运动的激光自准直仪
2.1引言；
2.2双轴激光自准直仪；
2.3单镜头激光微自准直仪；
2.4三轴激光自准直仪；
2.5总结

3用于测量面内运动的表面编码器
3.1引言；
3.2用于MDOF面内运动的表面编码器；
3.3两轴正弦网格表面编码器的制造；
3.4表面编码器在表面电机驱动平面阶段的应用；
3.5总结；
3.6参考文献


4用于测量平面内和平面外运动的光栅编器
4.1介绍；
4.2二自由度线性光栅编码器；
4.3带正弦网格的三轴光栅编码器；
4.4矩形XY网格的三轴光栅编码器；
4.5总结；
4.6参考文献


5测量圆度的扫描多探针系统
5.1介绍；
5.2坡度传感器方法；
5.3混合方法；
5.4总结；
5.5参考文献


6测量直线度的扫描误差分离系统
6.1简介；
6.2具有自调零的三位移传感器方法；
6.3机床滑块的误差分离方法；
6.4总结；
6.5参考


7微型非球面的测量的扫描微型手写笔系统
7.1简介；
7.2扫描错误动作补偿；
7.3微型探针；
7.4微型非球面的小型测量仪器；
7.5总结；
7.6参考文献


8用于微纹理表面的大面积扫描探针显微镜
8.1简介；
8.2电容式传感器补偿扫描探针显微镜；
8.3线性编码器补偿扫描探针显微镜；
8.4螺旋扫描探针显微镜；
8.5总结；
8.6参考


9测量三维纳米结构的自动对准扫描探针显微镜系统
9.1简介；
9.2自动对准光学探针；
9.3自动对准AFM的仪器；
9.4小结；
9.5参考

10用于测量微小尺寸的扫描图像传感器系统
10.1介绍；
10.2微宽度测量的扫描区域图像传感器；
10.3微小半径测量的扫描线图像传感器；
10.4总结；
10.5参考