用于微位移测量的迈克尔逊激光干涉仪综述

王冬1崔建军2张福民1闵帅博3陈恺2
1.天津大学精密仪器与光电子工程学院2.中国计量科学研究院3.浙江理工大学纳米测量重点实验室
摘要：迈克尔逊干涉术测量微位移可实现纳米甚至更高的分辨力,并且具备能直接溯源至激光波长等诸多优点,是目前微位移测量的重要技术手段。以限制迈克尔逊干涉仪品质提高的非线性误差为主要切入点,对目前各种基于迈克尔逊干涉原理的激光干涉技术进行了分类介绍,主要讨论了微位移测量中实现高精度和高分辨率的干涉测量技术,最后展望了激光干涉法测量微位移的近期发展趋势。