GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

【 标准编号 】 GB/T 17169-1997
【 标准名称 】 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法  
【 英文名称 】 Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection
【 发布单位 】 国家技术监督局
【 批准单位 】 国家技术监督局
【 发布日期 】 1997-12-22
【 实施日期 】 1998-8-1
【 开本页数 】 9P
【 引用标准 】 GB/T 6624-1998; GB/T 14142-93; GB/T 14262-93
【 起草单位 】 南开大学; 天津市半导体材料厂
【 起 草 人 】 李增发; 王宏杰; 张福祯; 颜彩蘩; 张光寅; 邓江东