GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
【 标准编号 】 GB/T 17169-1997<BR>【 标准名称 】 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法 <BR>【 英文名称 】 Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection<BR>【 发布单位 】 国家技术监督局<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1997-12-22<BR>【 实施日期 】 1998-8-1<BR>【 开本页数 】 9P<BR>【 引用标准 】 GB/T 6624-1998; GB/T 14142-93; GB/T 14262-93<BR>【 起草单位 】 南开大学; 天津市半导体材料厂<BR>【 起 草 人 】 李增发; 王宏杰; 张福祯; 颜彩蘩; 张光寅; 邓江东<BR>
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