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1.平晶放在室内恒温的时间,对φ100mm的平晶来说不得少于 小时,对于φ150mm平晶来说不得少于 小时。 2.平行平晶工作面中心长度偏差不超过
mm;两工作平面的平面度不大于
μm。 3.一级平晶的平面度对Φ150mm平晶来说,要小于 μm,二级平晶的平面度对Φ100mm的平晶来说,要小于
μm。 4.平行平晶在检定前需要放置在温度为 ℃的恒温室内,不少于 小时。 5.检定样板直尺所使用的研磨面平尺其直线度允差为:(1)小于200mm的平尺,其直线度允差为 μm;(2)大于200mm小于350mm的平尺,其直线度允差为 μm。 6.检定平板地点的温度,对于0,1,2级平板来说要求为 ℃,检定前,平板与检定量具在检定地点平衡温度的时间不少于 小时。 二.选择题(24分) 1.用平面平晶检定平面度时,若出现3条直的,互相平行而等间隙的干涉条纹,则其平面度为( )。 (1)0.9μm;
(2)0; (3)1.8μm。 2.若用平晶检测被测件,测量面上的干涉条纹为圆形时,其测量面的凹凸情况可以这样进行判定:在平晶中央加压,若干涉条纹向内跑,则说明测量面中间是( )。 (1)平; (2)凸; (3)凹。 3.平面度误差是指包容实际表面,且距离为( )的平行平面间的距离。 (1)最大; (2)最小; (3)给定; (4)任意。 4.用等厚干涉法检定平晶的平面度时,在整块平晶上干涉条纹数以调整到如下情况为宜( )。 (1)干涉条纹为1条; (2)干涉条纹为3条或5条;(3)干涉条纹为2条或4条。 |