三维影像测量仪的Z轴如何校准

有知道的吗，X，Y两个方向的示值误差可以用玻璃尺，但是Z轴用什么标准器呢，声明用量块的误差很大

影响测量仪的Z轴误差一般都很大，不是你选用量块造成的。通常Z周的重复性三、四个微米，误差就可想而知了。

是的，我想知道有没有可以校准他的东西，要不厂家是怎么确认Z轴的精度的

据我所知，就是用量块。通常Z轴只用作定位，误差大概0.01mm以内。不能拿影像测量仪当三座标用，真要做Z方向测量的话，可以选用日本union公司的影像测量仪，Z轴误差2微米左右，Z轴重复性可以到0.5微米。
WWW.union.co.jp这是网址，可以上去了解一下。价格大概RMB20万左右。

谢谢渔民，你一定是这方面的专家了，想再请教一个问题：：：：轮廓仪的示值误差用什么标准器来校准

粗糙度测量功能用多刻线样板（目前通常用的是正弦波样板），轮廓测量功能用单刻线样板，一组不同深度的刻线。

原帖由 计量民工 于 2007-8-28 13:01 发表
有知道的吗，X，Y两个方向的示值误差可以用玻璃尺，但是Z轴用什么标准器呢，声明用量块的误差很大

基本上都是用量块校正,但是是用倍率最大的那个物镜,相对来讲,误差比用小倍率的小些!我校过OLYMPUS的机器.1μ内吧!

谢谢渔民，但是有些轮廓仪可以测量R值，高度等，如果单用单刻线样板就可以了么


寻梦： 我测过ogp的误差在10微以上，还是自动调焦的？

实际上现在许多仪器都在向多功能的方向发展，传统方式的校准只解决一部分问题。比如坐标机，常规校准只测探测误差和长度测量的示值误差，但那并不代表测圆和测其他形状也具有同样的“精度”。由此引出了面对测量任务的不确定度这个概念。所以，想知道多功能仪器各功能的“精度”，就要用与各功能相符的标准器去校准。假如你的轮廓仪右测R的功能，建议你找几个不同（已知）直径的标准球（或半球）去校准。意见供参考。

1.        有些软件有Ζ轴辅助对焦的功能可以协助校正，但光学倍率要在高倍率得位置。再搭配量块使用。
2.        加装探针量测也可以校正

Z轴校一般用 阶梯规

若单纯检测Z轴可考虑采用量块和电感仪配套检查
1、调平玻璃工作台与导轨的平行度
2、安装电感仪
3、安装定位量块

若检测Z轴的影像定位误差，首先要制做一个对比度较高的标样，并把标样附着在约5毫米的量块上，且标样工作面与量块另一工作表面的平行度要求在0.5微米内。然后调整影像测量仪，观看标样至清晰且高倍率，采用慢速自动对焦，观察影像测量仪的重复性至仪器要求。后采用量块研合法对聚焦位移进行检查即可。

Z轴的定位精度可以用激光干涉仪测量

请问渔民，单刻线样板用作轮廓校准会把样板损坏么？因轮廓仪触针比较尖锐！

我认为影像测量仪Z轴应该用量块校准，误差大不是量块造成的，而是测量仪本身重复性差造成的。轮廓仪的校准应该用单刻线样板、多刻线样板、标准半球等进行。

影像测量仪的Z轴是用量块校准的，你校准的误差大不是量块的问题，而是光源的问题。现在有一种先进的光源，可以在量块的表面上形成明暗条纹，这样对焦时精度非常高。三丰的新仪器中有这种技术，他们是在玻璃上刻了许多细小的条纹，要用时移动这块玻璃，校准后的最大误差仅2微米。美国有一家公司（名称好象叫PINNECK)也有这种技术，效果还更好，他们用的是液晶技术。

有的工厂一般Z轴的使用精度也不是太高，不多，现在大多数还是用量块来校正，尽管误差可能比较大。

影像测量仪可以按国家标准《影像测量仪的验收检测和复检检测》（报批稿）校准。http://www.gfjl.org/thread-113005-1-2.html

量块校准就可以了，误差大不是量块造成的，是对焦测量原理造成的，有测量探头就精度高了。

在Z轴上安装扭簧表，利用量块可以校准Z轴的定位精度，但注意定位精度不同于测量精度。

用量块校准

现在影像仪一般都是用Z轴配上接触测头来打，这样可以做到2.5-3μ，纯光学聚焦去测量量块的表面的话，一般只保证在5-8μ，很难做到3μ，前面几位说的2μ，1μ是不可能的，Z轴的机械精度就没有那么高，这是硬件精度，没法补。个人观点，仅供参考。

校准当然是用量块、阶梯规之类的东西。

加装上激光测头或接触式测头以后，Z轴测量精度将会提高，现在做的好的，重复性达到1μm以内完全没问题。
有些Z轴精度比XY低不了很多。

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一般不会，一是样板有一定的硬度，二是仪器的测力很小，三是触针尖部是圆弧的，常用的触针半径10微米、5微米，最小的2微米。另外，轮廓测量功能的校准可参考国家标准GB/T19600-2004《产品几何量技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 接触(触针)式仪器的校准》。